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鈦泵的電源是高內阻電源，其空載輸出電壓在3~7KV間，但負載電流大時，輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源。可以用流過鈦泵陰陽極的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場強度下的放電電流Iion（mA）與壓強P（Torr）有一定的曲線關系。所以通過離子泵電源可反映出壓強的大小。
泵電源的面板上顯示有：輸出直流高壓和鈦泵放電電流等。
（1） 極限壓強：10-8帕
（2） 抽速：
鈦泵的抽速與陽極電壓和磁場強度有關，磁場強時抽速也大，對應蕞佳抽速的陽極電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合，可用基本結構單元并聯的方式使抽速達到50升/秒、100升/秒等。
（3） 啟動壓強：10-2帕
（4） 壽命
a、陰極耗盡壽命
陰極鈦板因濺射穿通而使泵無法使用。
b、陽極剝落壽命
陽極內沉積鈦膜的厚度太大時會產生剝落，導致泵內壓強的不規則強烈變化，使泵無法使用。
c、陽極吸飽壽命
陽極上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當達到飽和狀態時泵不能再吸附氣體。
在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達幾萬小時。
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